Ͻź
Ȧ
ʹܽз
nổ hũ pgij˵330ΪϵԼɱϰƽٸԶ϶³й·ʲϯ³е̫֯ڶʮĴ쵼˷ʽ;ȺŷҵļͣݡʢʱһнΪ˽һйѧDzͻعȻѧܺйѧ绰нڻ
330ίίΥΥ41նȡôʩý17ձǰоȫоƬ豸̡ASML̨ȽEUVߣֵ̻1.2ԪĿǰҵѴɹʶʹEUV̻ʹ뵼оƬ7nm5nmʱϢ̨൱оȥȫ豸2019ǰһµļѰ2017511й֧ǣͷר˱ŹˮͷԶһɽ4ʬŶڹɴ˽ҿŵɱ201853ԺϢðıΤij˧һԺԹɱ͵ԽдȨ
ʱ26ӢӢϲԼʿȲֵױ·籨1996.072000.03ŰʡίԱ䣺1997.031998.03غ֧̣
410̳2018ῪĻСղμ˲̳2018ῪĻʽȥΰȫЭίԱύ˹ڵʳμӵߵָڲһЩȺ״ٽ״ٹܿ״ٹܼ˵ȼʱ19ڻʢٽýɷʱʾ˴ó̵ɹ˫ɹʶóսֹͣ˰